•氣體流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)普遍被應用在氣體製程流量控制用途,因此供應商積極開發新的氣體,以因應新的製程需求。本公司提供MFC 校正/修改服務,可達到成本控制的目標。 服務品牌 STEC AERA MILLIPORE 型號 SEC-PV2000 SEC-Z500 SEC-7330 ( 及其他各式型號 ) FC-261E FC-780 FC-781C ( 及其他各式型號 ) FC-2930 FC-2900 ( 及其他各式型號 )